| 类型：半导体检测显微镜 | 品牌：HUVITZ | 型号：HRM300L |
| 目镜放大倍数：FN 25 三目 | 物镜放大倍数：50-200 | 加工定制：是 |
产品特点:
半导体检查显微镜200mm/300mm晶圆FPD检查显微镜
? 大型载物台搭载: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圆全面检查
? 采用高NA的透射光聚光镜, 图像更锐利
? 多种观察方式 多种照明方式 多种附件以满足不同应用要求
HRM300L/HRM300L-M详细规格:
光学系统 ***远校正光学系统
显微镜镜体 照明装置 反射/透射光∶内置12V、100W光源，备有光量预设开关、电压LED指示灯、反射/透射光转换开关(HRM300L)。
反射光∶内置12V、100W光源，备有光量预设开关、电压LED指示灯(HRM300L-M)
调焦 行程范围：29.5毫米粗调：17.7毫米/转，微调：0.1毫米/转（1 um刻度），可设粗调上限停止位置，粗调旋钮张力可调
标本高度 29.5mm
反射光照明装置 明视场等观察法 100W卤素灯(可安装高亮度光源、光纤照明装置)。可用于明视野法微分干涉衬比法/简易偏振光法，配备视场光阑和孔径光阑(可调中)以及明视野法联动的中性密度滤色镜。
暗视野观察法 暗视野法
透射光照明装置 100W卤素灯，配备阿贝/长工作距离聚光镜，
内置透射光滤色镜(LBD、ND25、ND6)(BX51)
观察镜筒 超过宽视野F.N.25 正象∶三目镜筒HM-WETR：正象型（FN 25），倾斜角为20°
换镜转盘 明视野法用 五孔带DIC插孔转盘
明/暗视野法用 五孔带DIC插孔转盘
载物台 1.HRM300L透反射半导体显微镜配置载物台为日本奥林巴斯***载物台（原MX61L用）：
MX-SIC1412R2 14英寸×12英寸 行程：356×305mm
（透射光照明面积：356×284mm）
2.HMR300L-M反射光半导体显微镜配置载物台为德国***载物台：EK300：; 尺寸572（W）X 400（D）mm; 行程:305(X)X305(Y)mm;
